全主动特气柜（GC）是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供给而设计的特气设备，通过SEMI S2认证，基本功能包含主动吹扫、主动切换以及紧迫状况下的主动安全堵截（当设定报警信号被触发时），首要用于安全稳定运送特种气体。
现在咱们来认识一下特气柜上的一些首要组成部分：
1. 气动阀气源：一般以GN2来进行控制，不主张运用CDA（clean dry air），因GN2的供给体系比较稳定，不会因停电或运转设备故障而中止，此气源是用于主动或半主动的气动阀件开关。
2. 手动控制阀：首要用于第二道防护作为第二次确认用或检修，一般于供给气体的出口端。