基于NanoFocus 技术（多孔共聚焦）的μsurf传感器技术。在几秒钟内，获得微观和纳米范围内的形貌、粗糙度和层厚度。这个NanoFocus聚焦共焦显微镜包括LED光源、旋转多针孔盘、具有压电驱动器的物镜和CCD摄像机。LED光源通过多针孔光盘（MPD）和物镜聚焦到样品表面，反射光。反射光通过MPD的针孔减小到聚焦的部分，最后落在CCD相机上。传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节。相反，在共焦图像中，通过多针孔盘的操作滤除模糊细节（未聚焦）。只有来自焦平面的光到达CCD相机。因此，共聚焦显微镜能够在纳米范围内获得高分辨率。每个共聚焦图像是通过样品的形貌的水平切片。在不同焦距处捕获图像产生这样的图像堆栈，由共聚焦显微镜通过压电驱动使物镜精确垂直位移来实现。通常在几秒钟内捕获200-400个共聚焦图像，之后软件从共聚焦图像堆栈重建精确的三维高度图像。μsurf技术在微米和纳米范围的技术表面表征方面具有许多优点。与SEM（X，Y）相反，μSURF提供真实三维坐标（x，y，z）中的数据。只有这些定量数据才能够对三维表面参数进行精确的分析，从而传递关于表面纹理的更大范围的信息。μSurf系统的测量不需要以前的样品制备。在许多工业部门中，标准的测量方法是触觉扫描。美国国家标准与技术研究所（NIST）进行的一项独立的第三方研究表明，μsurf技术与触觉系统的相关性最高（99%）。此外，要检查的材料的硬度的差异是不相关的，因为系统在不接触和破坏表面的情况下工作。μsurf一目了然特点可以概括为以下几点：1.NanoFocus拥有自己的特有的技术和发展前景2.其快速的数据采集3.在纳米范围内仍然拥有超高的分辨率4.全面的测量数据并且保证精确度5.无样品制备6.其非接触性测量也很好保证产品表面不被破坏。7.获得真实三维测量数据8.独立于材料特性如颜色、可靠性或硬度9.测量符合DIN
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